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大连DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置

浏览次数: 99
  • 所属系列:阀门 - 疏水阀
  • 规格型号:DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置
  • 最小起订量:1
  • 所 在 地:辽宁 - 本溪市
  • 发货期限:245
发布日期:2016年1月8日    西安庆成机电设备有限公司
产品介绍

DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置

主要技术参数:

◆真空腔室尺寸:Φ350×H500mm;高斯计特斯拉计

◆真空腔室结构:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷;

◆真空系统:扩散泵+机械泵+维持泵;

◆极限真空:5×10-4Pa;

◆真空测量方式:数显复合真空计、薄膜压力计;

◆基片台尺寸:Φ100mm;

◆基片台升降:80~100mm;

◆基片台转速:0~10转/分(可调);

◆热丝温度:2000℃~2500℃;

◆衬底温度:600℃~1000℃;

◆制膜种类:金刚石厚膜、类金刚石膜、氮化硅和碳化硅膜等;

◆工作电源:AC380 V,50Hz;整机功率5KW。电源型式:热丝电源;

◆真空控制方式:手动按钮控制;

◆工艺气体控制方式:4路工艺气体流量控制及显示系统;

◆报警及保护系统:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

http://www.029yibiao.com/     http://www.029ybc.com/







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